淡江大學物理學系

年度	93
等級	SCI
論文名稱	Bonding properties and their relation to residual stress and refractive index of amorphous Ta(N,O) films investigated by x-ray absorption spectroscopy
全部作者	Jan, J. C.; Babu, P. D.; Tsai, H. M.; Pao, C. W.; Chiou, J. W.; Ray, S. C.; Krishna Kumar, K. P.; Pong, W. F.; Tsai, M.-H.; Jong, C. A.; Chin, T. S.
卷數	Applied Physics Letters 86(16), 161910(3pages)
ISSN(ISBN)	0003-6951
使用語言	英文
備註	期刊論文