年度93
論文名稱Fabrication of NiSi2 nanocrystals embedded in SiO2 with memory effect by oxidation of the amorphous Si/Ni/SiO2 structure
全部作者Yeh, P.H.; Wu, H.H.; Yu, C.H.; Chen, L.J.; Liu, P.T.
卷數J. Vac. Sci. Technol. A 23, pp.851-855
使用語言 英文
備註期刊論文